Delcom RS200 非接觸式表面電阻量測

Single-sided sensor embedded in 200 mm x 200 mm stage – ideal for thick or curved materialsNoncontact measurement of sheet resistance, sheet conductance, resistivity, thickness, and emissivityRange options from .005 ohms/square to 100,000 ohms/squareDetachable probe – add additional sensors, ranges, and stages any timeInterface via simple one button operation, Delcom software, Python library, or MODBUS/TCP

  • ADVANTAGES OF NONCONTACT EDDY CURRENT

    • Nondestructive
    • Reads through insulating layers
    • Measures moving material
    • Nearly instantaneous readings
    • Provides real-time process inspection

    REDUCE PRODUCT AND LABOR COSTS

    • Automate testing—no more manual probing
    • Test 100% of material without damage
    • Address coating issues as they happen
    • Avoid further processing of out-of-spec material

顯示器(FPD):

  • 平面顯示器
  • 觸控面板
  • 透明導電氧化物(TCO)
  • 透明導電材料(ITO, TCM)
  • LED 和 OLED 顯示器
  • 奈米碳管(CNT)
  • 石墨烯(graphene)
  • 奈米銀線(Ag nanowire)
  • 金屬網格(metal mesh)

 

太陽能光電(PV):

  • 薄膜太陽能:非晶矽、CIGS、CDTE
  • 矽晶太陽能
  • 三五族太陽能

 

半導體(Semiconductor):

  • 矽晶棒(Ingot)/晶塊特性檢測
  • 晶圓特性檢測
  • 晶圓級封裝/面板級封裝 (WLP/PLPl; ex. FOPLP)

 

建築玻璃 (Low-E):

  • 軟鍍式(soft coated)
  • 硬鍍式(hard coated)

 

智能玻璃(smart glass)商業與住宅建築玻璃、汽車與航太應用:

  • 電致變色玻璃Electrochromic glass(EC)
  • 熱致變色玻璃Thermochromatic glass
  • 光致變色玻璃Photochromatic glass
  • PDLC 玻璃
  • 懸浮粒子裝置 (SPD)
  • 可轉換金屬切換鏡 (TMSM)
  • 汽車玻璃:防眩光、除霜、加熱、反光
  • 後視鏡(傳統的):汽車與航太應用

 

精密光學與光學鍍膜(PRECISION OPTICS AND OPTICAL COATINGS)

 

航太與國防(AEROSPACE AND DEFENSE)

  • 航太與國防用座艙罩
  • 航太與國防光學
  • 國防用低可見性材料
  • 太空船熱控制材料
  • 太陽帆(solar sails)

 

能源設備(ENERGY DEVICES)

  • 電池單元與堆疊
  • 能源儲存
  • 燃料電池元件

 

導電墨水印刷(PRINTING CONDUCTIVE INKS)

  • 印刷電子
  • 導電墨水

 

軟性電子、加熱、屏蔽、天線(FLEXIBLE ELECTRONICS, HEATING, SHIELDING, ANTENNAS)

  • 軟性電子
  • 軟性電路
  • 軟性印刷電路板 (PCBs)
  • 天線
  • 加熱設備
  • 薄膜加熱器
  • 射頻識別 (RFID)

鍍金屬電容器箔片(METALIZED CAPACITOR FOIL)

 

電磁干擾與射頻屏蔽(EMI AND RF SHIELDING)

 

轉換與包裝(CONVERTING AND PACKAGING)

  • 微波吸收材料
  • 阻隔膜
  • 鍍金屬薄膜
  • 裝飾性薄膜/紙張
  • 鍍金屬標籤
  • 織物與纖維
  • 技術性織物
  • 碳纖維編織物
  • 碳纖維

 

反光(安全)材料(EFLECTIVE AND SAFETY MATERIALS)

 

醫療成像材料

 

其他

  • 高性能塗層
  • 抗靜電薄膜
  • LED
  • 導電纖維、紡織品、氈、編織物
  • 奈米線、網格、格子
  • 粉末
  • 鍍層玻璃
  • 鍍層聚合物
  • 導電油漆
  • 金屬與有機導線
  • 捲對捲 (R2R) 塗層
  • 玻璃
  • 晶圓
  • 薄膜

型號

RS200

可量測數據類型

表面電阻(ohm/sq)

表面電導率(Siemens/Square)

體積電阻率(ohm-cm)

厚度(micro meter)

使用者定義的發射率介於 0 和 1 之間

感應器及平台尺寸

感測器形式:單邊感測器

平台尺寸:200mm x 200mm

任意點可量測尺寸:無限制

感測器直徑:直徑26mm

感測器間隙:N/A

感測器至樣品距離補償範圍:0-3mm

感測器量測尺寸:直徑26mm

量測範圍

×10 From 5 to 100,000 ohms/square

×1 From 0.5 to 10,000 ohms/square

÷10 From 0.05 to 1,000 ohms/square

÷100 From 0.005 to 100 ohms/square

樣品材料要求

最大最小厚度:無限制

最小尺寸:直徑26mm

最大尺寸:無限制

電力及溫度要求

電源輸入:100–120/200–250 VAC頻率:60/50 Hz耗電量:1.0/0.5A溫度範圍:10°C–60°C

 

介面架構


響應率和顯示率

Delcom 每30ms對樣品材料進行一次測量。

Delcom的硬體和軟體進行平均處理,每 240ms顯示 8 個平均讀數。

 

精確度

Delcom 儀表依據美國國家標準與技術研究所(NIST)標準進行校正,準確度高於 99.9%。

使用者可以在一分鐘內完成校正設定。

 

解析度

每個有效位數在四個量程範圍中都可表示。

 

線性

Delcom 保證測試材料的片電阻值與真實值的偏差不超過 3%。

下圖顯示的是 Delcom 儀器對 10 個 NIST、VLSI 和 MSA 標準進行測試的結果。

 

重複性

如果樣品的放置和環境因素(如溫度)保持不變,Delcom 儀器的讀數可達到 99.9% 的重複性。​

 

溫度補償

渦電流儀器的基準讀數會隨著環境溫度的變化而漂移。

Delcom 桌上型感測器經過補償,使其每攝氏度每小時的漂移不超過總解析度的 0.04%。

 

量測距離對讀數的影響

導電層在感測器間距中的高度會影響儀器的讀數。

這種影響可以透過使用平台、配備距離探測器進行自動補償,或將儀器校準至已知高度的材料來解決。

 


桌上型軟體

  • 基於 PC 的應用程式(Windows XP 或更高版本)
  • 用戶可自訂的Python庫

 

使用者可選擇的測量單位

  • 表面電阻(ohm/sq)
  • 表面電導率(Siemens/Square)
  • 體積電阻率(ohm-cm)
  • 厚度(micro meter)
  • 使用者定義的發射率介於 0 和 1 之間

 

軟體模式針對大多數常見使用者需求進行優化,包含

  • 樣品測試並得出數據
  • 樣品掃描Mapping
  • 樣品數據導出製成描繪圖來驗證表面均勻性
  • 設定上下限來確認樣品合格與否

 

數據記錄、分析、匯出

  • 透過 CSV 或 Microsoft Excel 記錄和匯出
  • 讀取、記錄、手動掃描、pass/fail以及匯出到 .csv 檔案和保存數據以供進一步分析等。

 

同時使用多組感測器

  • 針對多點量測選擇多組探頭
  • 針對多種阻抗範圍選擇多組探頭

 

使用者可調整的效能變數

  • 透過一個標準片, 使用者可以在不到一分鐘的時間內完成校正。
  • 設定電流電壓偏移補償(vertical offset)
  • 設定零點偏移補償(tare offset)
  • 設定增益偏移補償(gain offset)
  • 設定pass/fail 閾值和警報
  • 設定溫度補償係數

 

自動功能

  • 自動歸零
  • 自動樣品感應檢測
  • 自動量測數據記錄

 

 


增加感測器範圍

Delcom 感測器出貨時會搭配任意兩個相鄰範圍,範圍如下所列。

可購買額外的感測器以達到 Delcom 感測器的完整量測範圍。

×10 從 5 到 100,000 ohm/sq

×1 從 0.5 到 10,000 ohm/sq

÷10 從 0.05 到 1,000 ohm/sq

÷100 從 0.005 到 100 ohm/sq

 

使用 Python 函式庫構建自訂介面

使用 Delcom 的 Python 函式庫構建自訂介面。

Delcom 提供的 Python 函式庫能讓感測器的監控與控制完全交由客戶處理。

 

客製化感測器間距與量測尺寸

可客製化量測間距和尺寸組合的儀器。

一般來說,所需的間距越大,儀器的感測器量測尺寸也越大。

Delcom客製化的儀器,提供符合感測器尺寸和間距的最佳組合。

通常,客戶希望在滿足間距需求(由他們測量的最厚材料厚度決定)時,我們會盡量縮小感測器尺寸。


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