Delcom 20J3 Hybrid
渦電流量測表面電阻(sheet resistance)的優勢
- 非破壞性量測(非接觸式)
- 可穿透絕緣層量測至導電層
- 可即時量測移動中的樣品
- 即時的品質監控檢查
減少產品損害問題以及降低人工成本
- 不破壞待測物表面
- 解決鍍層產生的問題
- 量測速度較四點探針提升
- 避免使用到不合格的材料
顯示器(FPD)：
- 平面顯示器
- 觸控面板
- 透明導電氧化物(TCO)
- 透明導電材料(ITO, TCM)
- LED 和 OLED 顯示器
- 奈米碳管(CNT)
- 石墨烯(graphene)
- 奈米銀線(Ag nanowire)
- 金屬網格(metal mesh)
太陽能光電(PV)：
- 薄膜太陽能：非晶矽、CIGS、CDTE
- 矽晶太陽能
- 三五族太陽能
半導體(Semiconductor)：
- 矽晶棒(Ingot)/晶塊特性檢測
- 晶圓特性檢測
- 晶圓級封裝/面板級封裝 (WLP/PLPl; ex. FOPLP)
建築玻璃 (Low-E)：
- 軟鍍式(soft coated)
- 硬鍍式(hard coated)
智能玻璃(smart glass)商業與住宅建築玻璃、汽車與航太應用：
- 電致變色玻璃Electrochromic glass(EC)
- 熱致變色玻璃Thermochromatic glass
- 光致變色玻璃Photochromatic glass
- PDLC 玻璃
- 懸浮粒子裝置 (SPD)
- 可轉換金屬切換鏡 (TMSM)
- 汽車玻璃：防眩光、除霜、加熱、反光
- 後視鏡（傳統的）：汽車與航太應用
精密光學與光學鍍膜(PRECISION OPTICS AND OPTICAL COATINGS)
航太與國防(AEROSPACE AND DEFENSE)
- 航太與國防用座艙罩
- 航太與國防光學
- 國防用低可見性材料
- 太空船熱控制材料
- 太陽帆(solar sails)
能源設備(ENERGY DEVICES)
- 電池單元與堆疊
- 能源儲存
- 燃料電池元件
導電墨水印刷(PRINTING CONDUCTIVE INKS)
- 印刷電子
- 導電墨水
軟性電子、加熱、屏蔽、天線(FLEXIBLE ELECTRONICS, HEATING, SHIELDING, ANTENNAS)
- 軟性電子
- 軟性電路
- 軟性印刷電路板 (PCBs)
- 天線
- 加熱設備
- 薄膜加熱器
- 射頻識別 (RFID)
鍍金屬電容器箔片(METALIZED CAPACITOR FOIL)
電磁干擾與射頻屏蔽(EMI AND RF SHIELDING)
轉換與包裝(CONVERTING AND PACKAGING)
- 微波吸收材料
- 阻隔膜
- 鍍金屬薄膜
- 裝飾性薄膜/紙張
- 鍍金屬標籤
- 織物與纖維
- 技術性織物
- 碳纖維編織物
- 碳纖維
反光(安全)材料(EFLECTIVE AND SAFETY MATERIALS)
醫療成像材料
其他
- 高性能塗層
- 抗靜電薄膜
- LED
- 導電纖維、紡織品、氈、編織物
- 奈米線、網格、格子
- 粉末
- 鍍層玻璃
- 鍍層聚合物
- 導電油漆
- 金屬與有機導線
- 捲對捲 (R2R) 塗層
- 玻璃
- 晶圓
- 薄膜
型號 | 20J3 Hybrid |
可量測數據類型 | 表面電阻(ohm/sq) 表面電導率(Siemens/Square) 體積電阻率(ohm-cm) 厚度(micro meter) 使用者定義的發射率介於 0 和 1 之間 |
感應器及平台尺寸 | 感測器形式：C型感測器 平台尺寸：可選配量測平台 量測最大尺寸：直徑200mm 感測器直徑：直徑26mm 感測器間距：3mm 感測器至樣品距離補償範圍：N/A 感測器量測尺寸：直徑26mm |
量測範圍 | ×10 From 5 to 100,000 ohms/square ×1 From 0.5 to 10,000 ohms/square ÷10 From 0.05 to 1,000 ohms/square ÷100 From 0.005 to 100 ohms/square |
樣品材料要求 | 厚度限制：0-1.5mm 最小尺寸：直徑3mm 最大尺寸：直徑200mm |
電力及溫度要求 | 電源輸入：100–120/200–250 VAC 頻率：60/50 Hz 耗電量：1.0/0.5A 溫度範圍：10°C–60°C |
介面架構
響應率和顯示率
Delcom 每30ms對樣品材料進行一次測量。
Delcom的硬體和軟體進行平均處理，每 240ms顯示 8 個平均讀數。
精確度
Delcom 儀表依據美國國家標準與技術研究所(NIST)標準進行校正，準確度高於 99.9%。
使用者可以在一分鐘內完成校正設定。
解析度
每個有效位數在四個量程範圍中都可表示。
線性
Delcom 保證測試材料的片電阻值與真實值的偏差不超過 3%。
下圖顯示的是 Delcom 儀器對 10 個 NIST、VLSI 和 MSA 標準進行測試的結果。
重複性
如果樣品的放置和環境因素（如溫度）保持不變，Delcom 儀器的讀數可達到 99.9% 的重複性。
溫度補償
渦電流儀器的基準讀數會隨著環境溫度的變化而漂移。
Delcom 桌上型感測器經過補償，使其每攝氏度每小時的漂移不超過總解析度的 0.04%。
量測距離對讀數的影響
導電層在感測器間距中的高度會影響儀器的讀數。
這種影響可以透過使用平台、配備距離探測器進行自動補償，或將儀器校準至已知高度的材料來解決。
桌上型軟體
- 基於 PC 的應用程式（Windows XP 或更高版本）
- 用戶可自訂的Python庫
使用者可選擇的測量單位
- 表面電阻(ohm/sq)
- 表面電導率(Siemens/Square)
- 體積電阻率(ohm-cm)
- 厚度(micro meter)
- 使用者定義的發射率介於 0 和 1 之間
軟體模式針對大多數常見使用者需求進行優化，包含
- 樣品測試並得出數據
- 樣品掃描Mapping
- 樣品數據導出製成描繪圖來驗證表面均勻性
- 設定上下限來確認樣品合格與否
數據記錄、分析、匯出
- 透過 CSV 或 Microsoft Excel 記錄和匯出
- 讀取、記錄、手動掃描、pass/fail以及匯出到 .csv 檔案和保存數據以供進一步分析等。
同時使用多組感測器
- 針對多點量測選擇多組探頭
- 針對多種阻抗範圍選擇多組探頭
使用者可調整的效能變數
- 透過一個標準片, 使用者可以在不到一分鐘的時間內完成校正。
- 設定電流電壓偏移補償(vertical offset)
- 設定零點偏移補償(tare offset)
- 設定增益偏移補償(gain offset)
- 設定pass/fail 閾值和警報
- 設定溫度補償係數
自動功能
- 自動歸零
- 自動樣品感應檢測
- 自動量測數據記錄
增加感測器範圍
Delcom 感測器出貨時會搭配任意兩個相鄰範圍，範圍如下所列。
可購買額外的感測器以達到 Delcom 感測器的完整量測範圍。
×10 從 5 到 100,000 ohm/sq
×1 從 0.5 到 10,000 ohm/sq
÷10 從 0.05 到 1,000 ohm/sq
÷100 從 0.005 到 100 ohm/sq
使用 Python 函式庫構建自訂介面
使用 Delcom 的 Python 函式庫構建自訂介面。
Delcom 提供的 Python 函式庫能讓感測器的監控與控制完全交由客戶處理。
客製化感測器間距與量測尺寸
可客製化量測間距和尺寸組合的儀器。
一般來說，所需的間距越大，儀器的感測器量測尺寸也越大。
Delcom客製化的儀器，提供符合感測器尺寸和間距的最佳組合。
通常，客戶希望在滿足間距需求(由他們測量的最厚材料厚度決定)時，我們會盡量縮小感測器尺寸。
選配增加額外感測器
IM100介面模組支援額外的感測器，提供更大的範圍、較大或較小的間距或不同形狀/尺寸的選擇。
選配測試平台
可選配測試平台，確保材料以最佳高度進入感測器間距，方便移動材料的X、Y位置
選配真空應用感測器